A. 在半导体生产中,超纯水都会被应用在哪里
超纯水的应用领域涵盖了整个电子行业,还有许多新能源行业也有涉猎,比如我们常说的芯片、半导体、光伏等等。今天我们主要来说一下半导体领域中超纯水的应用。在半导体生产中,超纯水都会被应用在哪里?答案是在晶圆冲洗、化学品稀释、化学机械...
B. 半导体厂超纯水Cl含量如何控制
摘要 纯水中,电阻率,微粒子,气泡(溶解氧,溶解氮)和TOC是非常重要的指标,略微差异,可能导致元器件生产过程的产品质量和合格率的下降,所以超纯水的制备技术在半导体工业的发展中是非常重要的一环。近年半导体工业,超纯水的部分指标可能更加严格于表1中ITRS浸没式超纯水的要求。目前掌握最尖端的超纯水制造工艺主要还是国外的企业为主,如日本的栗田工业和美国的英特尔公司等等。
C. 如何区别纯水 高纯水和超纯水
辨别水处理行业中纯水,高纯水和超纯水的区别,主要就是看它们各自的电导率和含盐量。 纯水:纯水又称纯净水、去离子水,是指以符合生活饮用水卫生标准的水为原水,通过电渗析器法、离子交换器法、反渗透法、蒸馏法及其他适当的加工方法,制得的密封于容器内,且不含任何添加物,无色透明,可直接饮用的水,也可以称为纯净物(在化学上),在试验中使用较多,又因是以蒸馏等方法制作,故又称蒸馏水。市场上出售的太空水,蒸馏水均属纯净水;但纯水还是少喝为好,因为里面并没有太多人体需要的矿物质。纯水不易导电,是绝缘体。铅酸蓄电池补水时要使用纯水。
高纯水:高纯水是化学纯度极高的水,其中的杂质的含量小于0.1mg/L。目前人们制成的高纯水的纯度已经达到99.999999%,其中杂质含量低于0.01mg/L。高纯水主要指水的温度为25℃时,电导率小于0.1us/cm,pH值为6.8-7.0及去除其他杂质和细菌的水。
高纯水,是指将水中的导电介质几乎全部去除,又将水中不离解的胶体物质、气体和有机物均去除至很低程度的水。高纯水的含盐量在0.3mg/L以下,电导率小于0.2μs/cm。
超纯水:超纯水电阻率达到18MΩ*cm(25℃)的水。常用于集成电路工业中用于半导体原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制备和硅片氧化用的水汽源等。此外,其他固态电子器件、厚膜和薄膜电路、印刷电路、真空管等的制作也都要使用超纯水。
总之,就是从电导率和含盐量两个角度来看待就行,指标越低,纯度越高。
D. 超纯水指标
这是我们超纯水检测机构给半导体厂和药厂检测的项目,不知道能否解答你的问题?
电阻率(实测电导) GB 11446.4
全硅 GB 11446.6分光光度
微粒数 GB 11446.9
细菌个数 GB 11446.10(滤膜培养
铜 GB 11446.5原子吸收分光光度法
锌 GB 11446.5
镍 GB 11446.5
钠 GB 11446.5
钾 GB 11446.5
氯化物 GB 11446.7离子色谱
硝酸根 GB 11446.7
磷酸根 GB 11446.7
硫酸根 GB 11446.7
总有机碳 GB 11446.8
E. 超纯水说的是什么水
超纯水(Ultrapure water)又称UP水,是指电阻率达到18 MΩ*cm(25℃)的水。
这种水中除了水分子外,几乎没有什么杂质,更没有细菌、病毒、含氯二恶英等有机物,当然也没有人体所需的矿物质微量元素,也就是几乎去除氧和氢以外所有原子的水。
超纯水可以用于超纯材料(半导体原件材料、纳米精细陶瓷材料等)应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精细技术的制备过程。
应用
超纯水可以在以下领域使用:
1、电子、电力、电镀、照明电器、实验室、食品、造纸、日化、建材、造漆、蓄电池、化验、生物、制药、石油、化工、钢铁、玻璃等领域。
2、化工工艺用水、化学药剂、化妆品等。
3、单晶硅、半导体晶片切割制造、半导体芯片、半导体封装、引线柜架、集成电路、液晶显示器、导电玻璃、显像管、线路板、光通信、电脑元件 、电容器洁净产品及各种元器件等生产工艺。
4、高压变电器的清洗等。
F. 半导体行业超纯水质量会有哪些要求
超纯水的应用领域涵盖了整个电子行业,还有许多新能源行业也有涉猎,比如我们常说的芯片、半导体、光伏等等。今天我们主要来说一下半导体领域中超纯水的应用。
在半导体生产中,超纯水都会被应用在哪里?答案是在晶圆冲洗、化学品稀释、化学机械研磨、洁净室环境中都会应用到。那么,质量会有哪些要求?虽然每个行业都使用所谓的“超纯水”,但质量标准却各不相同。半导体所用的超纯水需要达到的水质标准为:我国电子工业部电子级水质技术标准(18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm五级标准)、我国电子工业部高纯水水质试行标准、美国半导体工业用纯水指标、日本集成电路水质标准、国内外大规模集成电路水质标准。
G. 纯水和超纯水的pH值该如何检测
1、搅拌速度:PH值反映的是H+的活度,(H+)而不是H+的浓度[H+],其关系为(H+)=f×[H+]。F为H+的活度系数。它是由溶液中所有离子的总浓度决定而不只决定于被测离子的浓度。在理论纯水中活度系数f等于1,但只要有其它离子存在,活度系数就要改变,PH值也就会改变。即PH值受溶液中总的离子浓度的影响,总离子浓度变化,PH值就要改变。由于复合电极液接界很靠近PH敏感玻璃球泡,从液接界渗漏出的盐桥溶液首先聚集在敏感球泡周围,改变了其附近的总离子浓度,由上述原因可知,使用测量值只是敏感球泡附近的被改变了PH值,不能反映其真实的PH值。虽然采用搅拌或摇动烧杯的方法可以改变这种情况,但实践证明,搅拌速度不同,测试的值也会不一样,同时搅拌或摇动又会加速CO2的溶解,所以也不可取。 2、高浓度3mol/L的Kcl:由于纯水中离子浓度非常低,而参比电极盐桥溶液选中高浓度3mol/L的Kcl,相互之间的浓度差较大,与它在普通溶液中的情况差别很大。在纯水会加大盐桥溶液的渗透速度,促使盐桥的损耗,从而加速了K+和CL-的浓度的降低。引起液接界电位的变化和不稳定,而Ag/AgCl参比电极本身的电位取决于CL-的浓度。CL-浓度发生了变化,其参比电极自身电位也会随之变化,于是就使得示值漂移,特别是不能补充内参比液的复合电极更会如此。 3、Kcl浓度的降低:为了保证复合电极的pH零电位,盐桥必须采用高浓度的Kcl,同时为了防止Ag/AgCl镀层被高浓度的Kcl溶解,在盐桥中又必须添加粉末状的AgCl,使盐桥溶液被AgCl饱和。但是根据上述第1条所述,由于盐桥溶液中Kcl浓度的降低,又使原本溶解在其中的AgCl过饱和而沉淀,从而堵塞液接界。 4、易受污染:纯水很容易受到污染,在烧杯中敞开测量,很容易受到CO2吸收的影响,PH值会不停地往下降,有关国际标准规定测量必须在一个特殊的装置中密闭中进行,但在一般实验室中难于实行。
H. 半导体超纯水设备的价格为何会有很大的差别
当前国内半导体行业应用的超纯水设备一般有前端预处理及RO、回EDI提纯等工序。
1.根据超纯水设答备的材质不同,选用的RO膜的品牌不同以及EDI模块的吨位及品牌区别,价格上也有很大的差距。
2.其中价格中膜元件及设备材质因素会极大地影响整体设备的价格。
3.具体的加工工艺以及厂家报价也会对价格有所影响。
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I. 超纯水水质标准
超纯水是为了研制超纯材料(半导体原件材料、纳米精细陶瓷材料等)应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精细技术生产出来的水,其电阻率大于18 MΩ*cm,或接近18.3 MΩ*cm极限值(25℃)。简单得说就是几乎去除氧和氢以外所有原子的水。这样的水是一般工艺很难达到的程度,理论上可以采用二级反渗透再经过串联的混合型交换树脂柱对二次反渗水进行处理,但是交换树脂的再生不便,质量难以保证。
制备
在原子光谱、高效液相色谱、超纯物质分析、痕量物质等的某些实验中,需要用超纯水,超纯水的制备如下:
(1)加入少量高锰酸钾的水源,用玻璃蒸馏装置进行二次蒸馏,再以全石英蒸馏器进行蒸馏,收集于石英容器中,可得超纯水。
(2)使用强酸型阳离子和强碱型阴离子交换树脂柱的混合床或串联柱。可充分除去水中的阳、阴离子,其电阻率达10 Q·cm的水,俗称去离子水,再用全石英蒸馏器进行蒸馏,收集可得超纯水。
应用
超纯水可以在以下领域使用:
(1)电子、电力、电镀、照明电器、实验室、食品、造纸、日化、建材、造漆、蓄电池、化验、生物、制药、石油、化工、钢铁、玻璃等领域。
(2)化工工艺用水、化学药剂、化妆品等。
(3)单晶硅、半导体晶片切割制造、半导体芯片、半导体封装 、引线柜架、集成电路、液晶显示器、导电玻璃、显像管、线路板、光通信、电脑元件 、电容器洁净产品及各种元器件等生产工艺。
(4)高压变电器的清洗等