2010光刻胶用线性酚醛树脂

『壹』 我国拿下哪一项“制芯”关键技术

“PM2.5，是大家很熟悉的微小颗粒物，直径小于或等于2.5微米。但我们研制这种制造芯片的关键材料，在过程中如果进入了哪怕PM1.0的粉尘，这个材料就是废品，就不能被应用到芯片当中。”

唐一林简单一句话，道出了集“超纯净”与“超均匀”于一体的制芯新材料——“光刻胶用线性酚醛树脂”对环境的苛刻要求。5月初，这位亚洲最大酚醛树脂生产基地的掌舵者告诉媒体，历时26年，用于芯片制作的国产高端电子树脂研制成功。专家认为，这种高端材料打破了美日等国垄断，可大大加速我国自主芯片的研制进度。

作为芯片的核心材料，光刻胶及光刻胶用树脂的技术曾长期由国外垄断，中国长期依赖进口。1992年，唐一林开始组建团队，着手酚醛树脂的研发，并尝试进行生产，但由于生产装备落后，不掌握核心技术等原因，他们经历了许多挫折，未能做出好的产品。无奈之下，只能将目光投向海外。1997年，经过严谨甄选，多轮谈判，圣泉最终与英国海沃斯矿物及化学品有限公司达成了合作，引进了英国最先进的酚醛树脂生产技术。

“核心技术受制于人是最大的隐患，而核心技术靠化缘是要不来的，只有自力更生。”作为过来人，唐一林深刻理解这句话的内涵。

在引进外智的同时，他没有放下自主力量，引进了以原天津树脂厂总工李乃宁高工为首的一系列研发骨干；2007年，与中科院化学所合作成立了“酚醛树脂技术研究中心”，引进并开发了包括火箭耐烧蚀材料在内的多个航天及军工项目；之后，建成了博士工作站，与多个院校开展了产学研合作；2011年，又引进了日本先进的环氧树脂生产技术，建成了国内最大的电子级特种环氧树脂车间……

2017年，按照全球公认的独角兽划分标准，圣泉被中国证监会下属的全国中小企业股份转让系统公司官方认定为“独角兽”。而此时，他们的自主酚醛，已在多个国字号工程中充当大任。其中，先进树脂材料——轻芯钢服务于高铁、磁悬浮列车；最新开发的特种树脂和高端复合材料打破国外技术垄断，已经被应用于国家航空航天器、火箭及导弹等军工制品中；酚醛微球自“神舟八号”开始，连续被用于“神舟”系列中。

“中国从不缺乏芯片技术，也不缺乏芯片用材料，缺乏的是芯片链条上的企业拧成一股绳儿的聚合力，缺乏的是企业向深处钻研的耐力。”利用26年探索终于磨砺出自己的“制芯”关键材料。唐一林认为：“我们之所以能研发成功，就是因为这个科研团队有一股没有突破绝不回头的耐力。这可以为任重道远的中国芯片科研提供些许参考。”

『贰』 光刻胶的作用

光刻开始于一种称作光刻胶的感光性液体的应用。图形能被映射到光刻胶上，然后用一个developer就能做出需要的模板图案。光刻胶又称光致抗蚀剂，是以智能管感光材料，在光的照射与溶解度发生变化。
光刻胶成份
光刻胶通常有三种成分：感光化合物、基体材料和溶剂。在感光化合物中有时还包括增感剂。根据光刻胶按照如何响应紫外光的特性可以分为两类：负性光刻胶和正性光刻胶。
1、负性光刻胶
主要有聚肉桂酸系（聚酯胶）和环化橡胶系两大类，前者以柯达公司的KPR为代表，后者以OMR系列为代表。
2、正性光刻胶
主要以重氮醌为感光化合物，以酚醛树脂为基体材料。最常用的有AZ-1350系列。正胶的主要优点是分辨率高，缺点是灵敏度、耐刻蚀性和附着性等较差。
gkjyy.jpg
光刻胶的特点
1、在光的照射下溶解速率发生变化，利用曝光区与非曝光区的溶解速率差来实现图形的转移；
2、溶解抑制/溶解促进共同作用；
3、作用的机理因光刻胶胶类型不同而不同；
光刻胶的主要技术参数
1、分辨率：区别硅片表面相邻图形特性的能力，一般用关键尺寸来衡量分辨率。形成的关键尺寸越小，光刻胶的分辨率越好。
2、对比度：指光刻胶从曝光区到非曝光区过渡的陡度。对比度越好，形成图形的侧壁越陡峭，分辨率越好。
3、敏感度：光刻胶上产生一个良好的图形所需一定波长的最小能量值（或最小曝光量）。单位：毫焦/平方厘米或mJ/cm2。光刻胶的敏感性对于波长更短的深紫外光（DUV）、极深紫外光（EUV）等尤为重要。
4、粘滞性/黏度：衡量光刻胶流动特性的参数。粘滞性随着光刻胶中的溶剂的减少而增加；高的粘滞性会产生厚的光刻胶；越小的粘滞性，就有越均匀的光刻胶厚度。
5、粘附性：表征光刻胶粘着于衬底的强度。光刻胶的粘附性不足会导致硅片表面的图形变形。
6、抗蚀性：光刻胶必须保持它的粘附性，在后续的刻蚀工序中保护衬底表面。
7、表面张力：液体中将表面分子拉向液体主体内的分子间吸引力。光刻胶应该具有比较小的表面张力，使光刻胶具有良好的流动性和覆盖。
8、存储和传送：能量可以激活光刻胶。应该存储在密闭、低温、不透光的盒中。同时必须规定光刻胶的闲置期限和存贮温度环境。
光刻胶的主要作用
1、将掩膜板上的图形转移到硅片表面的氧化层；
2、在后续工序中，保护下面的材料（刻蚀或离子注入）。

『叁』 酚醛树脂的生产工艺是什么

涂胶组合物用的酚醛树脂,制备方法与含有该酚醛树脂的组合物（法国-20页）

酚醛树脂组合物（日本-24页）

火箭发动机用的弹性体化酚醛树脂烧蚀性隔热物（美国-30页）

酚醛树脂涂布的耐火聚集料（美国-9页）

基于可熔酚醛树脂的含铝和硼的粘合剂体系（德国-14页）

可熔性酚醛树脂组合物及其固化方法（日本-9页）

酚醛树脂、环氧树脂及其制造方法（日本-18页）

光学性能改进的可溶可熔型酚醛树脂（美国-40页）

制备酚醛树脂的方法（日本-13页）

制备可熔酚醛树脂的方法（德国-9页）

使用干性油改性酚醛树脂组合物的酚醛树脂层压板（日本-14页）

酚醛树脂发泡体叠合板（日本-25页）

层合酚醛树脂泡沫板及其制造方法（美国-21页）

具有改进光学性能的可溶可熔酚醛树脂（美国-39页）

用作不受水影响的环氧树脂硬化剂的促进剂的酚醛树脂（德国-8页）

酚醛树脂泡沫材料（美国-14页）

用于酸固化酚醛树脂组合物的反应性稀释剂（美国-58页）

酚醛树脂硬化物的再生利用方法（日本-21页）

用经植物油改性的酚醛树脂制备的层压板（日本-13页）

用于热塑性硫化橡胶的酚醛树脂固化剂的优选结构（美国-25页）

具有改善的耐冲击性的酚醛树脂组合物（美国-41页）

线型酚醛树脂及其制造方法（日本-21页）

含水酚醛树脂分散体（美国-14页）

借助低温液面下强制水蒸汽蒸馏法分离可溶可熔酚醛树脂（美国-13页）

具有与反射层中铝化学结合的酚醛树脂的后向反射制品（美国-17页）

用阴离子交换树脂降低线型酚醛树脂溶液中的金属离子含量（美国-14页）

酚醛树脂模塑料（日本-13页）

层压板用干性油改性酚醛树脂组合物及使用该干性油改性酚醛树脂组合物的酚醛树脂层压板 （日本-15页）

用于酚醛树脂的发泡剂（英国-13页）

生产酚醛树脂制的滑轮的方法（日本-24页）

改性酚醛树脂的制备方法及其应用（德国-7页）

酚醛树脂组合物（日本-35页）

改进了的酚醛树脂（澳大利亚-25页）

制备酚醛树脂的方法（荷兰-9页）

经植物油改性的酚醛树脂的制备方法及其在层压过程中的用途（日本-14页）

含有稳定化酚醛树脂的水基胶粘剂组合物（美国-25页）

酚醛树脂粘合促进剂以及粘合剂组合物（美国-24页）

制备用于高分辨率光刻胶组合物的高玻璃化温度线型酚醛树脂的方法（美国-15页）

制备平版印刷用的感光支化线型酚醛树脂的方法（美国-12页）

第二套：中国最新酚醛树脂及其制品生产工艺技术专利大全（中文）题录

酚醛树脂发泡板材（7页）

酚醛树脂的固化促进剂微胶囊丸（5页）

铁基酚醛树脂同步器锥环（6页）

酚醛树脂/粘土纳米复合材料的生产方法（9页）

一种酚醛树脂基球形活性炭的制备方法（6页）

不含或含低量游离氨的酚醛树脂成型材料制造方法（15页）

一种高强度酚醛树脂及其制作工艺与应用（7页）

铸造覆膜砂粘土/酚醛树脂纳米复合物、生产方法及用途（9页）

一种水溶性酚醛树脂/纳米粘土复合物及其制备方法（8页）

一种呼吸辅助装置用酚醛树脂中空纤维膜的制备方法（7页）

酚醛树脂污水处理方法（6页）

一种Novolak酚醛树脂及其制备方法（9页）

一种热塑性酚醛树脂/粘土纳米复合材料及其制备方法（9页）

一种纳米粘土填充的热固性酚醛树脂及其制备方法（11页）

感光型磷酯化酚醛树脂、其组合物及其制法（16页）

酚醛树脂低温发泡机（6页）

松香改性混合烷基酚醛树脂的制备（11页）

采用酚醛树脂作胶粘剂冷压制备摩擦材料的方法（17页）

一种改性酚醛树脂及其生产方法（7页）

酚醛树脂复合板的连续制法（10页）

用于低温发泡的酚醛树脂的生产方法和所制成的树脂（12页）

油墨树脂油和松香改性酚醛树脂废水的处理方法（4页）

酚醛树脂覆膜砂用溃散剂组合物及配制方法（7页）

一种水溶性磺甲基酚醛树脂的制备方法（4页）

改性酚醛树脂与羧酸金属盐接枝共聚物（6页）

马来酰亚胺酚醛树脂椡┯途酆衔铩⒑铣煞椒