蒸馏来水：就是将水源蒸馏、冷凝的水,蒸二次的叫重蒸水,三次的叫三蒸水.有时候为了特殊目的,在蒸前会加入适当试剂,如为了无氨水,会在水中加酸；低耗氧量的水,加入高锰酸钾与酸等.工业蒸馏水是采用蒸馏水方法取得的纯水,一般普通蒸馏取得的水纯度不高,经过多级蒸馏水,出水才可达到很纯,成本相对比较高.
去离子水就是将水通过阳离子交换树脂（常用的为苯乙烯型强酸性阳离子交换树脂）,则水中的阳离子被树脂所吸收,树脂上的阳离子H+被置换到水中,并和水中的阳离子组成相应的无机酸；含此种无机酸的水再通过阴离子交换树脂（常用的为苯乙烯型强碱性阴离子）OH-被置换到水中,并和水中的H+结合成水,此即去离子水.
普遍来说蒸馏水的离子比去离子水高，去离子不经过紫外消毒或者滤膜的话，可能会带点微生物，看具体工艺。