『壹』 過濾器廠家哪個好車間里需要一些臨時凈化設備,禾益環境的移動式自凈器怎麼樣
禾益凈化的移動式自凈器挺不錯的,不用安裝就可以直接用,超薄型無隔板高效空氣過濾器佔用空間小,過濾效果好,底部還有帶剎車腳的萬向轉動輪,移動起來很方便,很適合小范圍中低潔凈度要求的環境~ 有不明白的可以繼續追問或者網路搜索。
『貳』 誰有凈化空調高效過濾器的規格明細啊任何廠商的都行
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其實都可以定做的,沒有什麼特別標準的
『叄』 新鄉市菲諾浦過濾設備有限公司怎麼樣
簡介:新鄉市菲諾浦過濾設備有限公司是一家專業的過濾產品生產企業,廠區位於"過濾之鄉"的新鄉市過濾產業聚集區。公司擁有先進的生產設備、精密的檢測儀器和有豐富經驗的過濾技術研發團隊,主要研究進口濾芯國產化替代,從選擇原材料到出廠都有專業人員監督,保證為客戶提供優質產品;已掌握過濾核心技術,可滿足高端用戶需求。菲諾浦主要產品范圍分為:過濾器、濾芯、過濾設備、液壓附件、檢測設備等5大類。濾芯是核心,替代進口濾芯是公司研發的方向,力求能夠與進口濾芯完全互換,甚至超越其性能。菲諾浦向客戶做出承諾,除了高標準的質量外,還保證交貨快捷,服務高效。只有這樣,菲諾浦才能在現在和將來的過濾行業中適應多樣化的市場需求和激烈的市場競爭。產品目錄:一、過濾器(1)吸油過濾器:TF系列箱外自封式吸油過濾器、TFA系列吸油過濾器、TFB系列吸油過濾器、WU、XU系列吸油過濾器、WF系列吸油過濾器、XNJ系列箱內吸油過濾器、NJU系列箱外內積式吸油過濾器、XYLQ系列吸油濾清器、ISV系列管路吸油過濾器、自自封式磁性吸油過濾器。(2)回油過濾器:RF系列直回式回油過濾器、RFA系列微型直回式回油過濾器、RFB系列自封式磁性回油過濾器、QYL型回油過濾器、XNL系列箱內回油過濾器、磁性直回式回油過濾器系列。(3)管路過濾器:YPM系列壓力管路過濾器、YPH系列壓力管路過濾器、PLF系列壓力管路過濾器、ZU-H、QU-H系列壓力管路過濾器、ZU-A、QU-A、WU-A、XU-A回油管路過濾器、RLF系列回油管路過濾器、GU-H系列自封式壓力管路過濾器、DRLF系列大流量回油過濾器。(4)雙筒過濾器:SRFA系列雙筒微型直回式回油過濾器、SRFB系列雙筒直回式回油過濾器、SRLF系列雙筒回油管路過濾器、SDRLF系列大流量雙筒回油過濾器、SLLF系列雙筒潤滑過濾器、SMF系列雙筒中壓過濾器、SZU-A、SQU-A、SWU-A、SXU-A系列雙筒回油過濾器、SGF系列雙筒高壓過濾器。(5)替代國外進口過濾器:RF回油過濾器(HYDAC)、RFD雙筒回油過濾器(HYDAC)、DF高壓過濾器(HYDAC)、LF低壓過濾器(HYDAC)、RFLD雙筒管路過濾器(HYDAC)、9660/61/64系列高壓過濾器(pall)、4744/4740/4741系列高壓雙聯過濾器(pall)、9020/9021系列高壓過濾器(pall)、8314系列低壓過濾器(pall)。行業專用過濾器:煤礦專用過濾器、化工行業專用過濾器、光伏產業專用過濾器、電力行業專用濾芯、陶瓷行業專用濾芯。二、濾芯(1)替代進口濾芯:HYDAC賀德克、PALL頗爾、MAHLE瑪勒濾芯、STAUFF西德福濾芯、PARKER派克濾芯、MP-FILTRI翡翠濾芯、FILTREC富卓濾芯、DONALDSON唐納森濾芯、AGRO雅歌濾芯、INTERRANMAN英德諾曼濾芯、HY-PRO海普洛濾芯、MANN曼濾芯。(2)國標濾芯:國標過濾器配套濾芯、國標各類籃式濾芯、斜口濾芯。(3)熔體濾芯:燒結網濾芯、燒結氈濾芯、異型過濾器芯、成套過濾器芯、折波熔體濾芯、不銹鋼粉末燒結濾芯、銅粉燒結濾芯。(4)工業水濾芯:活性炭濾芯、線繞濾芯、折疊濾芯、PP熔噴濾芯、凝結水精處理覆蓋濾元、大流量凝結水濾芯。(5)空氣濾芯:空氣濾筒、初校板式過濾器、壓縮空氣高效過濾器濾芯、組合式無隔板空氣過濾器、高效有隔板空氣過濾器、袋式過濾器。(6)空壓機、工程機械配套濾芯:阿特拉斯、英格索蘭、復盛、康普艾、壽力、柳州富達、凱撒、飛和等空壓機三濾;徐工、柳工、龍工、三一重工等工程機械車配套濾芯。三、過濾設備自帶油箱型濾油車LYC-CL系列、高固含量油濾油機LYC-G系列、箱式移動濾油機LYC-C系列、高精度濾油機LYC-B系列、聚結脫水濾油機LYC-J系列、高粘度油濾油機GLYC系列、防爆式箱式濾油車、攜帶型濾油車BLYJ系列。四、液壓附件:油箱清潔蓋、HF系列微型高壓軟管接頭總成、測壓軟管與測壓接頭、KF型壓力表開關、球閥、液位繼電器、液位計。五、檢測設備:顆粒計數器專用取樣瓶、代理品牌顆粒計數器。
法定代表人:孫秋華
成立時間:2011-08-17
注冊資本:100萬人民幣
工商注冊號:410711000019646
企業類型:有限責任公司(自然人獨資)
公司地址:牧野區高灣西工業區
『肆』 高效過濾器應如何選擇,高效過濾器的風量按規格怎麼計算
高效過濾器應如何選擇,怎麼選擇合適的高效空氣過濾器1)高效過濾器,用於潔凈室。高效過濾器主要是其效率檢測比較困難。
A、有隔板:製作工藝簡單,迎風面為過濾端面的幾十倍。隔板一般採用鋁(不能用純鋁,一般是鋁合金)。最好不要採用紙隔板,因為紙易燃。在軍事和醫葯(因為紙為營養成分)上拒絕採用紙隔板,民用可以採用紙隔板。目前也有一些採用塑料隔板的。軍事上必須採用有隔板的高效過濾器,且必須採用鋁隔板。
B、無隔高效過濾器應如何選擇,怎麼選擇合適的高效空氣過濾器
1) 高效過濾器,用於潔凈室。高效過濾器主要是其效率檢測比較困難。
A、
有隔板:製作工藝簡單,迎風面為過濾端面的幾十倍。隔板一般採用鋁(不能用純鋁,一般是鋁合金)。最好不要採用紙隔板,因為紙易燃。在軍事和醫葯(因為紙為營養成分)上拒絕採用紙隔板,民用可以採用紙隔板。目前也有一些採用塑料隔板的。軍事上必須採用有隔板的高效過濾器,且必須採用鋁隔板。
B、 無隔板:採用絲線來隔開過濾材料。與有隔板的相比,同樣的過濾面積時,過濾器的高度可以下降。可耐高溫。
2)高效過濾器的檢測
傳統的方法是採用DOP,DOP為一種油狀液體塑料。將之加熱冷凝為0.3μm的液滴。通過光散射鏡來確定其過濾效率。
國內採用鈉離子法檢測99.97%的高效過濾器。採用掃描檢測,高效過濾器每一台都需要測漏,掃描費用很高,而合格率低,合格率100%是不可能的。國內最好的廠家廢品率為5%,較差的都達到40%。國外廢品率為3%。但國內很多廠家不是每一台都測的,國內只有簡橋、煙凈等廠家是全測的。
3)中效過濾器
中效過濾器最多的採用袋式的。一般也採用玻璃絲棉製作。不需要全部檢測。尺寸建議採用24英寸X24英寸的規格。
4)潔凈室:
1萬級和10萬級的潔凈室一般採用的過濾器都是一樣的,但換氣次數和新風比不一樣。這樣的潔凈室一般很少用全新風系統。對於10萬級的潔凈室末端採用亞高效過濾器就可以達到要求,但不推薦採用亞高效過濾器,因為亞高效過濾器與高效過濾器在售價上差距很小,但採用亞高效過濾器換氣次數需要20次/小時,而採用高效過濾器,換氣次數只需要10次/小時。這樣就節約了初投資和運行費用。比較經濟的選型。
目前最先進的是膜技術,比如RO膜亂槐,不過技術不是很成熟,其實活性炭可以過濾啦。簡單又便宜。
高效過濾器的類型和規格繁多,在挑選的時取決於過濾的目的和條件,所以要准備執行一個安全經濟、又可靠有效的凈化過濾方案,要充分考慮以下注意的幾大因素。1.高效過濾類型及過濾精度影響因素: 過濾目的:澄清、除菌、 濃縮、分離。選擇內容: 微濾、超濾、納濾、過濾精度。除菌:選用0.2μm或0.45μm除顆粒:選用1~60μm大分子分離:分子量1000~300000,選用超濾小分子分離:分子量200~1000,選用納濾2. 濾材影響因素: 過濾流體特性:氣體或液體,流體的成分,PH值,化學性質,溫度及工藝要求等。選擇內容: 參考嘩答友化學相容性表及濾材特性選擇。過濾液體時,傳遞窗盡量選擇親水性濾材,如聚醚碸膜、尼龍膜;過濾氣體、強酸強鹼和特種溶媒時,選擇PTFE濾材。3. 濾殼影響因素: 過濾流體特性:氣體或液體,流體的成分,化學性質,溫度及工藝要求等。選擇內容: 可選用304或316L不銹鋼材料。用於除菌過濾的選用衛生級外殼;少用或不用螺紋;拋光、採用隔膜舉橡壓力表。 4. 高效過濾器 大小影響因素: 流量,液體粘度,工作方式,選擇內容:根據有效壓差、初始壓差、過濾量確定。若液體有粘度,還需加大,因為液體的粘度與流量比。連續操作比間隙操作至少選大1/3。選擇項目: 是否需要預高效過濾器影響因素: 污染程度,顆粒分布,前處理情況,選擇內容: 使用合適的預高效過濾器,可延長終端 高效過濾器 的壽命,降低使用成本。 要想挑選到好的高效過濾器,就得先了解其分類:1、用於恆溫恆濕空調的空氣過濾器,包括:板式一次性紙框過濾器;板式金屬框過濾器2、用於大型樓宇建築、公共場所空調通風行業的空氣過濾器,包括: 板式空氣過濾器 、濾袋式空氣過濾器亞高效箱式空氣過濾器、活性炭及催化分解式化學過濾器 3、用於有潔凈登記要求的潔凈室行業用戶的各類初、中、高效過濾器,包括:板式空氣過濾器、濾袋式空氣過濾器、大風量組合式空氣過濾器、箱式有隔板空氣過濾器板式無隔板空氣過濾器4、噴塗類表面塗裝行業用的噴塗頂棉、玻纖漆霧氈、耐高溫玻纖氈、板式、濾袋式、大風量箱式、有隔板 耐高溫過濾器 等各類空氣過濾器 5、燃氣輪機行業用的板式、濾袋式、大風量組合式、圓筒式空氣過濾器6、潔凈車間用的高效送風口、FFU等空氣凈化設備
廣州恆之裕凈化科技從事空氣凈化產品研發,生產,加工,銷售於一體的企業。由於潔凈室的特性不同,高效過濾器的選擇首先要按照潔凈室的級別、無菌程度、溫濕度、耐火程度、防腐等不同要求來確定。最近在京東方潔凈車間里看到恆之裕高效過濾器,它們就是要求要耐高溫,防濕,防腐的。
如100級以下選擇A類或B類,100級以上則需要選擇C類過濾器;高溫高濕條件下宜選用金屬分隔板和金屬框架的過濾器;有防腐要求的宜選用塑料分隔板和塑料框架的過濾器;有防火要求的,過濾器所有材料應為不燃性等等。
實踐中常規過濾器就是指高效空氣過濾器標准中規定的A類和B類,它們是潔凈廠房設計中最常用的高效過濾器,一般低於或等於10萬級可以選A類;1萬~100級可以選B類。凡是常規高效過濾器,對於≥0.5μm微粒的效率可按照5個「9」即0.9999計算。
高效過濾器主要用於過濾0.3um以下的空氣懸浮顆粒,作為各種過濾系統的末端過濾;
淺談:三十萬級萬級千級百級潔凈室潔凈區空氣過濾器的選型配置,一般來說過濾器的選擇是根據潔凈室等級要求選的。
廣州恆之裕凈化建議高效過濾器配置要求的如下供大家參考:
100級凈化:板式G4(F5)+袋式F7(F8)+袋式F9+板式H13+(風道末端FFU過濾單元);
1000級凈化:板式G4(F5)+袋式F7(F8)+袋式F9+板式H11+(風道末端FFU過濾單元);
10000級凈化:板式G4(F5)+袋式F7(F8)+袋式F9+板式H11;
100000級凈化:板式G3(G4)~F5+袋式F7(F8)+袋式F9;
300000級凈化:板式G3~F5+袋式F6~F8;
每台高效過濾器在出廠前均經過逐台性能測試,保證高效過濾器的性能指標
現在先說明一下初中效過濾器的功能特點:
中效過濾器主要應用於電子、精密儀器、機械、冶金、化工、紡織、醫葯、食品等行業的空氣凈化過濾;空調系統的中級過濾器。用於捕集1~3μm以上的顆粒灰塵及各種懸浮物;風量大;阻力小;容塵量大;可重復使用;
初效過濾器一般用於多級過濾系統的預過濾;一般性酸鹼有機溶劑中的空氣過濾;空調系統的初級過濾。主要用於捕集5μm以上的顆粒灰塵及各種懸浮物;風量大;阻力小;容塵高;使用壽命長。
要保護好高效空氣過濾器,一般最常用的做法是初效過濾器效率選用G4級,中效過濾器效率選擇F7-F9級,並用對初效過濾器一般1-3個月就得更換或者清洗,中效過濾器3-6個月就一定得更換,只要遵循好相關規則,就得有效延長高效過濾器的使用壽命;
由於潔凈室的特性不同,高效過濾器的選擇首先要按照潔凈室的級別、無菌程度、溫濕度、耐火程度、防腐等不同要求來確定。最近在京東方潔凈車間里看到Rfilter高效過濾器,它們就是要求要耐高溫,防濕,防腐的。
如100級以下選擇A類或B類,100級以上則需要選擇C類過濾器;高溫高濕條件下宜選用金屬分隔板和金屬框架的過濾器;有防腐要求的宜選用塑料分隔板和塑料框架的過濾器;有防火要求的,過濾器所有材料應為不燃性等等。
實踐中常規過濾器就是指高效空氣過濾器標准中規定的A類和B類,它們是潔凈廠房設計中最常用的高效過濾器,一般低於或等於10萬級可以選A類;1萬~100級可以選B類。凡是常規高效過濾器,對於≥0.5μm微粒的效率可按照5個「9」即0.9999計算。
高效過濾器主要用於過濾0.3um以下的空氣懸浮顆粒,作為各種過濾系統的末端過濾;
淺談:三十萬級萬級千級百級潔凈室潔凈區空氣過濾器的選型配置,一般來說過濾器的選擇是根據潔凈室等級要求選的。
Rfilter建議高效過濾器配置要求的如下供大家參考:
100級凈化:板式G4(F5)+袋式F7(F8)+袋式F9+板式H13+(風道末端FFU過濾單元);
1000級凈化:板式G4(F5)+袋式F7(F8)+袋式F9+板式H11+(風道末端FFU過濾單元);
10000級凈化:板式G4(F5)+袋式F7(F8)+袋式F9+板式H11;
100000級凈化:板式G3(G4)~F5+袋式F7(F8)+袋式F9;
300000級凈化:板式G3~F5+袋式F6~F8;
每台高效過濾器在出廠前均經過逐台性能測試,保證高效過濾器的性能指標;
檢查下是不是過濾器阻力到了。 不是的話檢查下通風系統中小和出小的過濾器阻力看看是不是到了該更換了。
關於過濾器知識@我
高效快速纖維球過濾器特點說明
1、改性纖維球絲徑細,比表面積大,比表面積高達2000㎡/g。由於纖維絲徑細的特點,它疊加後濾層孔隙小,而疊加後濾層孔隙度在80%以上,對懸浮物的攔截作用比其他濾料都優良。因此對低滲透油藏的注入水處理尤為理想。對高懸浮物水的排放和回用有要求的過濾更加適用。
2、對纖維絲進行了改性處理,使它具有了親水疏油的特性。不管改性纖維絲粘上純油還是含油污水,遇水時水分子都能滲透到改性纖維絲表面,形成一層水膜,將纖維絲和油隔開。反洗時能將粘附在其表面的原油清洗干凈,反洗再生性能特別好。
機械過濾污水處理最常用的方法,根據過濾介質不同,機械過濾設備分為顆粒介質過濾和纖維過濾兩類,顆粒介質過濾主要以砂石等顆粒濾料作為過濾介質,通過顆粒濾料吸附作用和砂粒之間孔隙對水體中固體懸浮物截留作用實現過濾的,優點是易反沖,缺點是濾速慢,一般不超過7m/h;截污量少,其核心過濾層只有濾層表面;過濾精度低,只有20-40μm,並不適合含高濁度污水快速過濾。
高效自動梯度密度纖維過濾器核心技術是採用不對稱纖維束材料作為濾料,其一端為鬆散的纖維絲束,另一端纖維絲束固定在比重較大的實心體內,過濾時,比重較大的實心核起到了對纖維絲束的壓密作用,同時,由於核尺寸較小,對過濾斷面空隙率分布的均勻性影響不大,從而提高了濾床的截污能力。使濾床具有纖維過濾的孔隙度高、比表面積小、濾速高、截污量大、過濾精度高等優點,當水中懸浮物流經纖維濾料表面時,在范德華引力和經電作用下,懸浮固體和纖維束粘附力遠大於與石英砂的粘附力,有利於提高濾速和過濾精度。
滄州勃威環保科技有限公司是ISO9001:2008/GBT19001:2029認證企業,是專業從事空氣凈化產品研發,生產,加工,銷售於一體的企業。專業生產各種空氣過濾器,產品涵蓋各種初效過濾器,中效過濾器,高效過濾器,活性炭過濾器,等。另外我們還代理了專門用於彩塗板塗層厚度測量的瑞典AB的彈坑式膜厚儀,AB SWEDEN的塗層測量系統CMS。歡迎新老客戶來電!
『伍』 潔凈技術的發展歷程
一切技術的產生與發展,都是出於生產的需要,潔凈室技術也不例外。在第二次世界大戰期間,美國生產的飛機導航用氣浮陀羅儀,由於質量不穩定,每10個陀羅儀平均要返工120次。50年代初朝鮮半島戰爭期間,美國的16萬台電子通訊設備,更換了百萬個以上的電子部件,雷達出故障的時間佔84%,潛水艇聲納出故障的時間佔48%。原因都是電子器件、零部件的可靠性差,質量不穩定。軍方與廠商究其原因,最終從多方面判定與生產環境不清潔有關。盡管當時曾不惜工本,採取了種種嚴密措施來封閉生產車間,但收效甚微。直到50年代初,將美國原子能委員會為解決對人體有害的放射性塵埃的捕集問題,於1951年研製成功的高效空氣過濾器(HEPA—High Efficiency Particulate AirFilter)應用於生產車間的送風過濾,才真正誕生了具有現代意義的潔凈室。
1961年美國桑第阿國家實驗室(Sandia National Laboratories)的高級研究人員懷特菲爾特(Willis Whitfield)提出了當時稱之為層流(laminar flow),現正名為單向流(unidirectional flow)的潔凈空氣流組織方案,並應用於實際工程。從此潔凈室達到了前所未有的更高潔凈級別。
同年美國空軍制定頒發了世界上第一個潔凈室標准TO—00—25——203空軍指令「潔凈室與潔凈工作台的設計與運轉特性標准」。在此基礎上,1963年12月公布了將潔凈室劃分為三個級別
的美國聯邦標准FED—STD—209。至此形成了完善的潔凈室技術的雛形。以上的這三個關鍵的進步,常被譽為現代潔凈室發展歷史上的三個里程碑。
上世紀六二年代中期,潔凈室在美國如雨後春筍涌現在各種工業部門。它不僅用於軍事工業,也在電子、光學、微型軸承、微型電機、感光膠片、超純化學試劑等工業部門得到推廣,對當時科學
技術和工業發展起了很大的促進作用。
七十年代初潔凈室的建設重點開始轉向醫療、制葯、食品及生化等行業。除美國而外,其它工業先進國家,日本、德國、英國、法國、瑞士、前蘇聯、荷蘭等也都十分重視並先後大力發展了潔凈技術。
六十年代初是中國潔凈技術發展的起步階段,大致比國外晚了十年。在中國,那是一個非常特殊的困難年代,一方面剛度過三年自然災害,經濟基礎薄弱,另一方面與世界科技先進國家沒有直接交往,得不到必要的科技數據、信息和樣品。在這種艱難條件下,圍繞精密機械、航空儀表和電子工業的需要,中國的潔凈技術工作者開始了自己的創業歷程。
潔凈技術在中國發展的歷程劃分為如下幾個階段:
起步和奠基階段
六十年代初至七十年代末,這十多年是中國潔凈技術的起步和奠基階段。
1965年,由中國建築科學研究院空氣調節研究所和蚌埠絕緣材料廠等單位研製完成帶波紋隔板的高效空氣過濾器通過鑒定,標志了我國潔凈技術開始正式起步。當時所用濾紙有兩種材質,一種是藍石
棉纖維濾紙的GS系列高效空氣過濾器,但因生產過程對人體健康不利很快被淘汰;另一種是超細玻璃纖維濾紙的GB系列高效空氣過濾器,一直沿用至今。經國內多次與國外同類產品對比測試,以及美國明尼
蘇達大學氣溶膠研究所對中國高效過濾器濾紙所作測試的結果,都證明國產高效空氣過濾器的主要技術指標,達到同期國際標准。
值得提及的是,盡管日本自50年代末已著手與美國合作在日本製造高效空氣過濾器,潔凈技術起步較早,但技術與濾紙來自美國,直到1969年日本的HEPA過濾器才完全國化。
與此同時,先後於1963年研製成功濾料鈉焰試驗台,1964年建成了高效過濾器的鈉焰試驗台,這時高效空氣過濾器的正常生產和質量提高了保證作用。中國醫學科學院衛生研究所、清華大學核能所等單位,為此付出了艱辛的工作。
如果把高效空氣過濾器比喻為潔凈技術的「心臟」,那麼檢測技術及儀器則是潔凈技術的眼睛,靠它來鑒別與把關。六十年代中期,中國醫學科學院衛生研究所、哈爾濱建工學院、
丹東儀表研究所、中科院安徽光機所、建研院空調所等單位先後投入力量研製光散射粒子計數器。1973年,建研院歷時三年研製成功了中國第一台型號為J—73型的塵埃粒子計數器,以及標定粒子計數器用的標准粒子——單分散聚苯乙烯膠乳標准粒子(PSL),其平均粒徑從0.177~1.460μm,共九種,標准差很小,均方根差變系數σ/χ<5%。J—73型共設有15個粒徑檔,測量范圍是0.3~10μm,采樣流量為300ml/min。這兩項成果於1974年通過國家鑒定並認為已達到或接近當時的世界水平。塵埃粒子計數器的推廣應用,推動了中國潔凈技術的科研、設計和凈化設備生產,沿著自立、自強的道路向前進步。
同時,一些電子技術、精密機械和國防工業相關的設計院,也在探索、研究潔凈室的工程設計。1965年建成的沈陽119廠和石家莊13所就是由三機部四院(現航空工業部第四設計院)和四機部第二設計院(現中國電子工程設計院)分別參照原蘇聯的妝化等級設計建設的。
中國科學院設計院1966年選用國產GB系列高效空氣過濾器設計了中國科學院面積為760平方米的精密機械裝配車間,1970年投入生產。後經測定,在靜態條件下,室內換氣次數為20AC/h時,室內潔凈度達到當時美國聯邦標准209A的10000級。
1973年初,四機部第十設計院和第十一設計院,分別著手進行了878廠和4433廠的潔凈車間設計,兩個工廠的潔凈室級別包括從FED—STD—209A的100,000級至100級,採用的氣流流
型有垂直單向流、水平單向流和亂流等。
在這個階段內,與潔凈室配套的凈化設備陸續試製成功,一些原來生產無線電、半導體專用設備的、生產醫療器械的工廠轉向凈化設備的生產,在國內形成了初步的潔凈室設備生產規模與布局。這些工廠當時主要分布在北京、天津、蘇州、上海和重慶。從設計製造多種型式的潔凈工作台(clean bench)開始,隨後陸續設計製造了吹淋室、氣閘室、物料傳遞窗、余壓閥等相關設備。
為了適應六十年代末、七十年代初,一些研究機構對小型潔凈工作環境的需求,以及一些舊廠房進行小規模潔凈室改造的需要,建研院空調所、六機部九院(現船舶工業總公司第九設計院)、
三機部四院、天津醫療器械廠天津醫葯凈化設備廠前身)等單位,研製成功了裝配式垂直單向流、水平單向流潔凈室。這種由凈化設備廠生產的裝配式潔凈室,特別在利用原有建築物進行技術改造,
所需凈化面積又比較小的場合,發揮了設計、施工快捷,技術性能穩定的特點,1974年在天津通過了國家鑒定。
1974年以來,建研院空調所、四機部十院等單位分別建立了潔凈技術試驗室,開展了一些基礎研究。如建研院空調所在該所試驗室中進行了亂流潔凈室均勻分布與不均勻分布計算
的研究,全頂棚送風兩側下回風潔凈室氣流特性的研究等;四機部第十設計研究院在該院的潔凈試驗室中進行了亂流潔凈室的試驗研究,高效過濾器送風口的氣流分布研究,人體發塵
量研究等多項課題。
與此同時,一些研究單位及設計院,如七機部七院(航天工業部七院)、建研院空調所、四機部十院、十一院、二機部二院(核工業部二院)、六機部九院等,和一些大專院校如天津大學、同濟大學、河北工學院組成了配合國家大規模集成電路攻關的潔凈室技術研究協作組,為規范與提高中國的潔凈技術水平,進行了一系列的測試與調研工作。如在北京、西安、上海等地進行了不同環境室外大氣含塵濃度的長期臨測與統計分析,在全國各地對已建潔凈室進行了測試,並著手對潔凈室設計、施工、運行及設備生產方面的經驗進行總結。
國外同期潔凈技術發展概況大致如下:
六十年代中,美國的電子、精密機械等工廠的潔凈室如雨後春筍,對當時科學技術和工業發展起了很大的促進作用,同時開始了將工業潔凈室技術(ICR—Instrial Cleanroom)移植
到生物潔凈室(BCR—Biological Cleanroom)的歷程。七十年代初潔凈室的建設熱潮轉向醫療、制葯、食品及生化等行業。
1966年在美國新墨西哥州建成了世界上第一個垂直單向流的生物潔凈技術室(BCOR—Biological Clean Operating Room)。同年,當時的美國污染控制協會AACC(American Association ofContamination Control,後並入IEST—Institute of Environmental Science and Technology),發表了「層流手術室的設計與建造」、「層流潔凈空氣在外科領域的應用」等指導性文件。
同年還在美國明尼蘇達大學建成了世界上第一個水平層流的無菌室。1967年在美國德州的M.D.安德遜病院建成了世界上最早的生物潔凈白血病室。
在英國,著名的整形外科專家恰利(D.J.Charnley),也於1966年建起了稱之為潔凈房(clean house)型式的生物潔凈手術室。1969年在奧地利的里茨建成了歐洲第一個層流病房,
隨後在瑞士、德國先後建成用於醫療的生物潔凈室。
在日本發展得更快,1965年日本國立公眾衛生院建成了採用高效過濾器的生物潔凈室(BCR)用於無菌動物(SPF)的飼育室。1970年在愛知縣職工病院建成了裝配式垂直層流白血病房。
1972年建成了國立大阪醫院垂直層流流型無菌手術室。至1977年底,病院的生物潔凈室已達131個。
為確保葯品的安全性、有效性,1964年美國食品葯品管理局(FDA)開始在美國實施「醫葯品的製造和質量管理規范」,簡稱GMP(Good Manufacturing Practice)。1969年世界衛生組織(WH0)頒布了GMP,規定了為保證葯品無菌生產,對生產環境和用水質量的要求。生物潔凈室技術在美、日、西歐等工業國家的制葯工業得到了廣泛應用。
美國FDA於1969年頒布了「食品製造標准」,即食品的GMP,要求在製造和包裝過程中嚴格控制微生物和溫濕度,以防止食品變質。食品無菌裝罐的潔凈室,當時在歐美迅速得到推廣。
以美國為例,1971年無菌裝罐食品總量為25.4億噸,1980年增長為132.7億噸,其中肉製品增長幅度近19倍。在食品釀造、發酵工業對純種的培養、接種、擴種等工藝也都採用了潔凈室技術。
以佔有七成左右潔凈室市場的電子與半導體工業而言,七十年代被稱為大規模集成電路(LSI)時代,而八十年代則被稱為超大規模集成電路(VLSI)時代。集成電路的集成度從1970年以來,差不多以每隔2~3年增長4倍速率飛速發展。
七十年代末,64K位RAM作為進入超大規模集成電路階段的標志性產品研製過程中,注意到其典型線寬為3μm,需控制的最小粒徑為0.3~0.8μm。也就是說,以0.3μm效率為標準的HEPA過濾器不能適應電子技術的進一步發展。美國、日本相繼研製與製造了對0.1μm塵粒計數過濾效率達99.99~99.995%的超高效空氣過濾器——ULPA(Ultra low penetration air)過濾器(亦可譯為「極低穿透率空氣過濾器」)。
成熟與發展階段
七十年代末至八十年代末,這十年間,中國的潔凈技術經歷了一段陽光燦爛的發展階段。在中國潔凈技術發展歷程中,許多標志性的重要成果,幾乎都誕生在這個階段。
1、標准、規范制定與國際交往方面:
1979年1月出版了以建研院空調所為首的設計、研究和大專院校等單位對建成的工業潔凈室的測試和總結經驗的基礎上編制的「空氣潔凈技術措施」,起到了規范與推動當時中國潔凈室技術的重要作用,為日後國家標準的制定奠定了基礎。
1984年12月頒發了以電子部第十設計院會同有關單位共同編制的GBJ73-84國家標准「潔凈廠房設計規范」,其中,關於潔凈度分級標准等同採用了當時國際上大多數國家認同的美國聯邦標准209B,摒棄了此前在中國國內曾在不同范圍內使用過的多個借鑒國際標准而自定的潔凈室分級標准,為中國潔凈室技術與國際接軌向前邁進了一步。
隨後,結合中國國情,參考國際標准先後制定了GB6166-85高效濾料性能實驗方法、穿透率和阻力,GB6167-85塵埃粒子計數器性能試驗方法,GB6168-85層流潔凈工作台檢驗標准等多個標准,對統一與規范試驗、測定方法,增強科學性起了很大作用。
值得一提的是1988年11月定稿的國家標准GB12218-89「一般通風用空氣過濾器性能試驗方法」中規定採用大氣塵的限徑計數效率法來測定粗、中、高中效空氣過濾器的效率,這是以天津大學為代表的國內各研究單位多年實踐的經驗總結,在世界上率先採用此方法。1993年歐洲通風協會(ASHRAE)先後放棄了原有的大氣塵比色效率法(NBS、AFI、ASHRAE)的計重效率法,同時頒布採用大氣塵或標准塵的計徑計數法。
特別是1982年6月成立了中國電子學會潔凈技術分會(對外的名稱是「中國污染控制協會」CCCS—Chinese Contamination Control Society),並創辦了「潔凈技術」雜志(現名為「潔凈與空調技術」—Contamination Control & Air-conditioning Technology),於1983年正式發刊,在整合國內潔凈室技術的各方面力量,推動潔凈室技術進步以及在國際交流方面起了很大促進作用。1986年中國潔凈技術學會成國國際污染控制學會聯盟ICCCS(International Confederation of Contamination Control Society)的成員。當時的成員國僅有美(IEST)、英(SEE)、法(ASPES)、德(DIN/VDI)、日(JACA)、意(ASCCA)、瑞士(SRRT)及北歐四國(R3-Nodic)等。(現增加至18個成員國,有澳—ACCS、俄—ASEMCO、比—BCW、韓—KACA、羅馬尼亞—RACC、巴西—SBCC、荷—VCCN、蘇格蘭—SZCZ)。
1998年第九屆ICCCS洛杉磯會議、1990年第十屆ICCCS蘇黎世會議,筆者代表中國應約出任了大會執行主席。
2、生物潔凈室技術方面:
生物潔凈室技術在中國的起步,較國外晚了十多年。七十年代末,一些制葯廠對原有空調系統進行了改造,開始採用高效空氣過濾器作為空調送風系統的末端,以代替原有的過濾器或甘油紗布罩等。上海醫葯工業設計院、哈爾濱建工學院及有關制葯廠等單位在此時期先後在上海第四、第七制葯廠、鎮江制葯廠採用了生物潔凈室技術。
1982年中國制葯工業公司依據國情與國外經驗制定了「葯品生產管理規范」(試行稿),其中空氣潔凈度級別參考美國聯邦標准209A,將生產環境分為大於100,000級及100,000級的控制區和10,000級及局部100級的潔凈區。至1985年底又匯編了「葯品生產管理規范實施指南」,連同經過部分修改後的「規范」一並正式頒布,為推動制葯工業的現代化奠定了基礎。1988年衛生部頒發了「葯品生產質量管理規范」,其精神與前述規范一致,為在制葯行業推行GMP認證准備了條件。
在此階段生物潔凈室在醫療方面陸續得到推廣應用。1980年由哈爾濱建工學院與雞西無專共同研製的簡易型水平層流空調凈化機組用於黑龍江醫院;由六機部九院與上海金山電子設備廠合作完成的裝配式無菌病室用於上海新華醫院細胞研究室、蘇州醫學院。
八十年代中,總後營房部設計院、天津大學等設計建成了有各種氣流型式、相當於美國宇航局標准NASA-5340Ⅱ的百級至萬級的十多間土建式無菌手術室的301醫院康復中心手術樓。天津大學、天津凈化設備廠設計建成了中國醫學科學研究院血研所多間百級組裝式無菌病室。
八十年代初、軍事醫學科學院、建研院空調所、蚌埠凈化設備廠等單位研製完成了Ⅱ-A級(相當於P3級)生物安全櫃(Biohazard work station)的研製;哈爾濱建工學院等單位
完成了松江罐頭廠的甜炬乳、西紅柿醬和培根的無菌裝罐室,開創了生物安全和食品加工生物技術在中國的應用。
在1985年前後,軍事醫學研究院研製的JWL針孔式浮游細菌采樣器和上海整新電子設備廠、同濟大學合作研製的SS縫隙式空氣浮游細菌采樣器通過鑒定,為生物潔凈室技術的某些
研究工作提供了手段。
3、基礎與技術研究方面:
在七十年代末至八十年代末這10年中,在潔凈室的基礎和技術研究方面也取得了眾多成績,如:
提出了中國大氣塵的統計規律、濕度對大氣塵濃度的作用、「W」型大氣塵濃度日分布模型,為確定室外設計濃度提供了依據;
提出了帶空氣幕層流罩的隔離效果、設計原理與計算方法;
提出了亂流潔凈室的均勻分布理論計算公式、經驗計算公式,以及自凈時間、污染時間的計算式;
提出了單向流潔凈室下側回風方式的最大室寬、計算模型以及下限風速的概念及數據;
提出了高效空氣過濾器封導結合的雙環密封原理和方案,倒置式液槽密封方案;
進行了人體發菌量的測試與分析;
建立了濾材、濾器的細菌過濾效率測試台,得到了對大氣塵菌源的濾菌效率與計數、計重效率的相關關系。
中國建築科學研究院、四機部十院、十一院等科研院所、設計院、天津大學、清華大學、同濟大學、哈爾濱建築工程學院、河北工學院等院校對此做了較多的工作。
4、在產品研製與開發方面:
1979年至1981年,天津大學、天津美綸纖維廠等單位通過對多種材質(滌綸、丙綸、維綸、棉、毛、超細玻纖……)、多種工藝針刺、噴膠、熱熔、熔噴、熱壓、羅拉)的幾百個品種、規格濾料系列研究,篩選並設計定型了TL—Z、TL—C系列具有線徑梯度、密度梯度和材質、工藝復合型的無織布濾材,部分替代了當時美、法、日等國引進的從粗效至亞高效過濾材料,為國家節約了大批外匯。
1981年,由四機部十一院、河北工學院、天津第二無線電專用設備廠研製成功WGP—01型無隔板高效空氣過濾器(mini pleat HEPA filter),填補了國內產品空白。
1985年,四機部十一院、四川造紙工業研究所、重慶無線電專用設備廠共同完成了CGB型高效空氣過濾器的研製,該過濾器對0.1μm塵粒的計數效率為99.99~99.995%,阻力為245~270Pa,經鑒定認為其主要技術指標達到當時日本生產的ULPA高效空氣過濾器同類產品的技術水平。1987年1月,天津醫葯凈化設備廠和建研院空調所研製的、採用國外ULPA過濾器(日本忍足株式會社產品)的0.1μm10級潔凈室通過鑒定。1988年5月機電部第十一設計院和重慶無線電專用設備廠採用國產0.1μm高效空氣過濾器的0.1μm10級潔凈室通過鑒定,其主要
指標達到八十年代國外的技術水平。
同期,國外潔凈室技術持續、穩定發展與進步。
1982年每晶元上約有5~6萬個器件的16K位隨機存儲器(RAM)已成暢銷品。1984年256K位RAM已進入實用階段。同年初日本宣布每晶元設置有約200萬個器件的一兆位DRAM(Dynamic Random Access Memory—動態隨機存取存儲器)試製成功。1985年美國研製完成4兆位的集成電路。至八十年代末4M位的DRAM已商品化。
各種降低能耗,配合工藝過程自動化與高潔凈度要求的潔凈室氣流組織方案及技術在此階段也陸續誕生,如隧道式潔凈室(tunnel type cleanroom)、潔凈管道(ct type cleanroom)以及SMIF(standard mechanical interface—標准機械介面)技術等。
從八十年代中期以來,以於微電子行業來說,1976年4月24日所頒發的美國聯邦標准209B所規定的最高潔凈級別—100級(≥0.5μm,≯100pc./cu.ft)已不能滿足需要,1M位的DRAM的線寬僅為1μm,要求環境級別為10級(0.5μm)。事實上,從七十年代末,配合微電子技術的發展,更高級別的潔凈室. 已在美、日陸續建成,相應的檢測儀器—激光粒子計數器、凝聚核粒子計數器(CNC)—也應運而生。總結這個時期的經驗和適應技術進步的需要,於是1987年10月27日頒發美國聯邦標准209C,將潔凈等級從原有的100至100,000四個等級擴展為1至100,000六個級別,並將鑒別級別界限的粒徑從0.5μm~5μm擴展至0.1μm~5μm.
與國際接軌走向規范化
九十年代初至今,在電子技術持續飛速發展的推動下,潔凈技術不斷前進,下表給出了國際上大規模集成電路的工藝及國內的代表產品的發展進程。
1992年9月11日頒布的美國聯邦標准FED—STD—209E更進一步取代1988年6月15日頒布的FED—STD—209D,將潔凈等級從英制改為米制,潔凈度等級分為M1至M7七個級別。與209D相比,最高級別又向上延伸了半個級別(209D的1級空氣中≥0.5μm塵粒≯35.3pc./m3,而209E的M1級≥0.5μm塵粒≯10pc./m3)。
三十多年來,美國聯邦標准209,一直是世界各國潔凈技術行業公認的標准。美國總服務局(GSA—U.S.General Services Administration),也就是批准美國聯邦標准供聯邦政府各機構使用的權威單位,於2001年11月29日發布公告,廢止FED—STD—209E,等同採用ISO—14644相關標准。這個決定標志著潔凈技術
隨同世界經濟一體化進一步走向國際大同。
九十年代初至今,中國經濟始終保持穩定的高速增長,國際投資持續注入,一批跨國集團在中國陸續興建了眾多的微電子工廠。因此國內技術與研究人員有更多機會直接接觸國外高級別潔凈室的設計理今,了解世界的先進設備和裝置、管理與維護等等。從這方面來看,的確從各個角度與國際日益接軌。
中國也投入了大批財力發展微電子技術。在這階段中先後建成了首鋼日電公司、華晶電子集團公司、上海華虹NEC電子公司、紹興華越微電子公司、以及天津MOTOROLA公司、上海貝嶺微電子公司等,但總起來說微電子技術與世界先進生產水平特別是研發水平上仍有相當大的差距。
九十年代初以來,潔凈技術在制葯工廠貫徹實施GMP法過程中得到了普及,全國幾千家制葯廠以及生產葯用原材料、包裝材料等非葯企業,陸續進行了技術改造。其規模之大、范圍之寬都是空前的。1992年中國制葯工業公司、中國化學制葯工業協會對1985年頒發的「葯品生產管理規范(GMP)實施指南」進行了修訂,頒發了新的實施指南。隨後在1998年頒發了理一步與國際接軌的、由國家葯品監督局組織修訂的「葯品生產質量管理規范」,即中國1998GMP(1999年8月1日起實施),為加大GMP的推行力度、在制葯全行業實施認證體制進一步奠定了基礎。九十年代初以來,醫院無菌手術室的建設受到各方面的關注,陸續在各大城市建起了上千間十萬級至百級不同級別的生物潔凈手術室、生物潔凈病室及實驗動物房。
概括這十年來國內潔凈技術行業的歷程,依筆者個人的看法是喜憂參半。值得欣慰的是,潔凈室技術行業在許多方面日益與國際接軌,反映在相關規范的內容、潔凈室設計思路與方案、施工技術與管理、檢測手段與技術等等方面。如反映在中國的國家標准修定中,2001年11月13日發布的GB50073-2001國家標准「潔凈廠房設計規范」(Code for Design of Clean Room),在空氣潔凈度等級劃分上,明確等效採用國際標准ISO14611-1,就是一個很好的例證。依靠制葯工業與普通電子裝配業,以及醫療衛生、食品、化妝品業的帶動,潔凈室技術得到極大的普及。但這些行業基本上都是ISO5或中國標准N5(相當於原聯邦標准FED—STD—209E的100級)及以下級別的潔凈室,所採用的主要設備器材如高效及各級過濾器、吹淋室、凈化工作台,空調製冷機組以及金屬壁板、地面復合材料等,基本上都是國內生產製造的。因此從七十年代屈指可數的、主要集中在京津地區、上海地區的十幾家;八十年代末的百餘家潔凈室設備生產廠、施工安裝單位,發展到現在幾乎遍布全國各省市的上千家潔凈室相關設備、器材生產製造廠、施工安裝單位,和一批積累了相當豐富經驗的設計單位、調試檢測單位。
全國處於運行狀態的各種級別的潔凈室面積,據不完全統計和測算,從八十年代初10多萬平方米猛增到200多萬平方米。某些微電子廠生產車間的潔凈級別達到了0.1微米1級的高水平。在潔凈空氣流流型理論計算與試驗研究方面,哈爾濱建工學院、天津大學、建研院空調所等單位,採用數值模擬方法,利用CFD(computational fluid dynamics)與試驗驗證相結合的方法,開展了矢流流型、普通潔凈室高效過濾器風口布置方案與潔凈效果等方面的研究,並參加了歷屆ICCCS國際學術交流會,在國際上發表了一批研究論文。
天津大學等單位參加了MOTOROLA、SAE、KODA、CTS不同潔凈級別的、由國外設計、採用國外設備器材、施工管理技術建造的潔凈室的系統調試與檢測、驗收。較深入地理解、掌握了國外微電子高級別潔凈室、制葯工業潔凈室的設計要點、技術關鍵,以及調試驗收技術及相應規范,與美國FDA、NEBB、IEST,日本的JACA等建立了廣泛的聯系。
特別值得提出的是,在新一屆中國電子學會潔凈技術分會領導的積極努力下,中國申辦第18屆國際污染控制學術會議(2006年)獲得成功,這是自1972年ICCCS創建以來首次在華舉辦這樣的盛會,將對中國的潔凈技術進步起到重要推動作用。