❶ 硅烷氣的水氧檢測方法及主要設備有哪些
一、直接氣來相色譜法源測定硅烷中的O2+Ar、N2和H2
二、濃縮氣體色譜法測定充氫硅烷中的雜質
三、硅烷中甲烷雜質的氣相色譜分析
四、氮磷檢定器用於硅烷分析
五、三種靈敏檢定器對硅烷的分析比較
專業的第三方檢測可以檢測