Ⅰ 硼酸的廢水排放標准
硼酸等工業污染物銀基升排放標准為GB4283-84。
1、根據《污水綜合排放標准》第四條標准分級:排入GB3838Ⅲ類水域(劃定的保護區和游泳區除外)和排入GB3097中二類海域的污水,執行一級標准;排入GB3838中Ⅳ、Ⅴ類水域和排入GB3097中三類海域的污水,執行二級標准。
2、工業廢水包括生產廢水、生產污水及冷卻水,是指工業生產過程中產生的廢水和廢液,其中含有隨水流失的工業生產用料、中間產物、副產品以及生產過程中產鋒譽生的污染物。工業廢水種鋒老類繁多,成分復雜。
Ⅱ 超純水除硼 ,晶元專用超純水硼的去除方法
硼作為五號元素,處於IIIA族中唯一的非金屬元素。它是製造P型半導體的關鍵摻雜劑,半導體的極限電壓依賴於基材中的硼含量。在半導體製造中,水、氣、化學物質直接與產品接觸,超純水的質量至關重要。若超純水中硼含量控制不力,將影響基材中硼的含量。
在低濃度下,硼在水中以硼酸或硼酸根形式存在,其比例隨pH值變化。pH超過11時,主要以硼酸根形式存在;而pH小於7時,主要以硼酸形式存在。硼酸的電離常數僅為5.8 x 10-10,電離能力極弱,因此,常規水處理過程中,硼酸難以去除。
超純水中的硼離子去除需結合高級凈化技術,包括預處理、反滲透、離子交換、蒸餾、紫外線或超濾等。一個完整的超純水系統整合了這些工藝,通過過濾、離子交換、精密加葯、反滲透膜處理、紫外線消毒和EDI(電去離子)及拋光離子吸附過濾等環節,確保最終產水的電阻率超過18.25MΩ/cm,達到超純標准。
地殼中硼的平均豐度為10ppm,火成岩中含硼量在12ppm至8ppm之間。在半導體製造中,硼的存在會嚴重影響設備性能和實驗結果,因此需要採取措施去除超純水中的硼離子。
晶元半導體行業對硼的要求為10ppt以下,現有部分工藝無法滿足該標准。杜笙離子交換樹脂CH-99通過選擇性吸附硼,確保出水穩定無波動。
Tulsimer® CH-99是一款高效選擇性離子交換樹脂,專為去除水溶液中的硼及其鹽而設計。它在廣泛的pH范圍內表現出色,並能高效去除硼及其鹽,即使在有其他離子存在的情況下也是如此。通過其胺聚羥基官能團與硼酸鹽緊密結合,形成穩定的絡合物,從而去除硼酸鹽,不受其他陰離子影響。
二、重要參數
Tulsimer® CH-99按嚴格工藝製成,作為去除水溶液中硼及其鹽的選擇性離子交換樹脂,其特點和優勢主要體現在以下幾個方面:
1. 高選擇性:CH-99樹脂具有與硼生成絡合物的多羥基胺功能基團,使其在低濃度環境下也能高效吸附硼元素。
2. 高吸附速度:優化的三維空間立體網路樹脂結構和功能活性基團,確保快速吸附動力學,提高處理效率。
3. 強吸附性能:高吸附容量和吸附速度,能有效降低溶液中硼的濃度,適用於低濃度環境下的硼元素去除和回收。
4. 顯著經濟效益:高效吸附性能降低操作時間與樹脂使用量,減少能耗及整體成本,提高經濟效益。
5. 穩定性強:在多種鹽類共存環境中,對CH-99樹脂影響較小,保持穩定的吸附效果,不易受其他物質影響。
6. 廣泛應用:適用於飲用水處理、超純水、海水淡化、廢水除硼等多個領域。
7. 環保友好:通過選擇性吸附而非化學沉澱,減少化學試劑使用,降低二次污染風險。