蒸餾來水：就是將水源蒸餾、冷凝的水,蒸二次的叫重蒸水,三次的叫三蒸水.有時候為了特殊目的,在蒸前會加入適當試劑,如為了無氨水,會在水中加酸；低耗氧量的水,加入高錳酸鉀與酸等.工業蒸餾水是採用蒸餾水方法取得的純水,一般普通蒸餾取得的水純度不高,經過多級蒸餾水,出水才可達到很純,成本相對比較高.
去離子水就是將水通過陽離子交換樹脂（常用的為苯乙烯型強酸性陽離子交換樹脂）,則水中的陽離子被樹脂所吸收,樹脂上的陽離子H+被置換到水中,並和水中的陽離子組成相應的無機酸；含此種無機酸的水再通過陰離子交換樹脂（常用的為苯乙烯型強鹼性陰離子）OH-被置換到水中,並和水中的H+結合成水,此即去離子水.
普遍來說蒸餾水的離子比去離子水高，去離子不經過紫外消毒或者濾膜的話，可能會帶點微生物，看具體工藝。